(原标题:对话东方晶源:打造中国芯片制造的GoldenFlow)
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一直以来,芯片厂商王人将先进制程看成竞争的谋划,将摩尔定律奉为表率。
然则,在这个过程中,跟着集成电路制程节点的不竭演进,工艺复杂进度不竭加多,良率变得极具挑战,成为碎裂行业发展的一浩劫点和技艺瓶颈。
淌若说先进制程代表晶圆厂技艺的逾越性,那么家具良率就代表着其家具的可靠性和经济性。
稀有据统计,关于顶端的逻辑晶圆厂而言,1%的良率就意味1.5亿好意思元的净利润。频繁晶圆厂良率要达到85%以上智商告成量产,不然良率过低不仅意味着示寂,也代表其工艺劣质低效,进而会给末端家具和使用者带来不好的体验。比如,业内某大厂制程出现良率问题,遭到大客户退货,损失惨重。
良率,一度被视为晶圆代工场的人命线,与先进制程的迫切性不分昆玉。
因此,栽种良率,看成芯片量产的必经之路以及蚁合芯片系数人命周期的话题,是芯片厂商彻里彻外王人需要靠近的终极挑战。
围绕良率栽种,业界进行了诸多探索,其中DTCO——联想与制造工艺的协同优化,成为业内主流的惩处旅途之一。尤其是跟着大算力、大数据、大模子的兴起和欺诈,使芯片联想到制造的全局优化成为可能。
从行业近况来看,台积电是数据良率经管的先驱和标杆。据了解,台积电自2012年运转握续打造大数据平台,为每一个工场王人配套一座数据中心,以便让数据产生更大的价值。为了栽种分娩后果,台积电利用先进机台限制、即时弱势侦测、工程良友探勘、中央经管制造平台等系统,收场了机台、制程和良率的优化。
经过多年千里淀,台积电仍是有上千位IT东说念主才和数百位机器学习人人,在排程派工、东说念主员分娩力、机台分娩力、制程与机台限制、品性限制以及机器东说念主限制等方面王人已收场了智能化应用。
比较之下,面前中国大陆晶圆厂在传统良率工程师、新兴机器学习人人以及IT东说念主才方面均靠近较大缺口。
尤其是昔时几年,在不踏实的国际交易关系、策略指引、末端需求波动的大配景下,中国半导体产业迎来了前所未有的高速发延期,东说念主才和技艺缺口被无尽放大,提高良品率和芯片性能成为中国半导体产业发展确当务之急。
对此,聚焦集成电路制造良率经管限制,成为破解行业难题的要害发力点。
其中,东方晶源看成该限制的杰出人物,自设立以来一直辛苦于于惩处集成电路制造良率经管问题,提议了独树一帜的DTCO惩处决策——HPO™(Holistic Process Optimization)良率最大化技艺阶梯和家具联想理念,在测度打算光刻软件及电子束量测检测限制成绩斐然。
在近日召开的2024年SEMICON China展会的现场,半导体行业不雅察有幸邀请到了东方晶源董事长俞宗强博士,结合东方晶源十年来的“芯”路历程,围绕芯片良率栽种的挑战、冲破、趋势,以及国产生态等话题进行了疏浚共享,凝听俞博对行业的灼见真知。
Q
半导体行业不雅察:东方晶源的中枢业务有哪些?为何遴荐这些赛说念?
俞宗强:东方晶源主要聚焦于集成电路制造良率经管和良率栽种,中枢家具包括基于电子束的纳米级检测量测开拓以及芯片制造相干EDA器用。最终方针是最大化地推崇光刻机等芯片制造开拓的潜能,以达到使用相似的开拓制造出比传统工艺过程更先进的芯片。这在后摩尔期间,止境是在中国莫得高端光刻机等开拓的限制下,约略制造出高端芯片,至关迫切。
咱们的谋划即是诞生符合中国需求的良率最大化过程,收场中国特点的GoldenFlow。为此,东方晶源早在10年前就基于HPO™进行了家具布局,历时10年的攻关收场了点器用的客户考证,并启动系统惩处决策的膨胀。
Q
半导体行业不雅察:东方晶源在测度打算光刻OPC、电子束量测检测限制得回了哪些技艺冲破?
俞宗强:东方晶源测度打算光刻家具PanGen是勾通芯片联想和制造的桥梁,采选基于ILT(反向光刻技艺),和CPU+GPU羼杂并行超算加快技艺,技艺阶梯上具有显耀上风。现在PanGen平台仍是具备圆善的功能链条,主邀功能包括精准的光刻仿真、DRC、SBAR、OPC、LRC、DPT及SMO等,家具得到国内头部用户的采选,在某些方面处于国际逾越水平,比如全芯片的工程化ILT技艺等。
东方晶源是国内布局电子束量测和检测限制最早的企业之一,告成推出的EBI、CD-SEM均为国内首台,填补国内相干限制空缺。旧年公司又推出DR-SEM,不管是家具种类,出机数目以及家具先进性,王人处于国内逾越地位。结合PanGen测度打算光刻系统,在电子束图像深度明白方面具有国际逾越性。
Q
半导体行业不雅察:东方晶源能领先收场阛阓冲破、家具约略快速落地的要害是什么?相较于行业友商,辉煌优配东方晶源的上风和竞争力是怎样体现的?
俞宗强:东方晶源是国内最早布局上述限制的企业,收货于公司创立之初对行业充分的调研,以及首创团队对行业发展前瞻性的洞悉和判断。公司发展过程中得到02专项等国度重心攻关工程的维持,此外对东说念主才的勾引、投资东说念主的自便维持王人是东方晶源家具约略快速落地的要害。
基于HPO™的布局,东方晶源家具不单是是点器用的替代而是通过连点成线,提供系统惩处决策,这少量是大部分竞争敌手不具备。正因为此东方晶源具有普遍可握续发展后劲。
Q
半导体行业不雅察:怎样看待半导体产业(止境是制造限制)的发展趋势?为此,怎样测度打算东方晶源的下一代家具/技艺更正?
俞宗强:关于国内半导体产业而言,国产替代只是开始,着实的竞争敌手是经久把持各个赛说念的国际供应商,因此在冲破卡脖子点器用的同期,必须通过更正收场快速追逐,最终在细分限制收场特等,智商着实收场生涯和可握续的发展,从而兴奋我国在先进芯片制造方面日益加多的需求。
东方晶源长久坚握HPO™全过程良率最大化惩处决策的创业初心,握续迭代升级已有软硬件家具,扩大众具线,同期,更正地将各个点器用串成线,为客户提供系统惩处决策。咱们的最终谋划是:通过联想制造工艺协同优化,DTCO甚而STCO,从而栽种良率,镌汰芯片成本。着实收场中国的芯片制造GoldenFlow。
Q
半导体行业不雅察:从行业近况来看,不管是半导体装备、照旧EDA软件等,王人是卡脖子比较严重的限制,东方晶源身处其中,怎样看待该限制的发展近况和走势?关于要开脱被卡脖子的窘境,有哪些不雅点和建议?国内厂商该怎样追逐?
俞宗强:比年来在举寰宇之力自便发展半导体的期间配景下,我国半导体产业发展迅猛,但需充分缔结到咱们的差距,止境在先进制程方面的差距,改日还有很长的路要走。
对此,有三方面建议:
缔结到差距,幸免同质竞争,抱团取暖,通过不相似子的配合,长入攻关,为客户提供成套惩处决策;
领有探索和更正精神,国际企业通过半个世纪的蕴蓄才收场今天在各个赛说念的把持,咱们在短时候内很难追逐,惟有走一条不同的路才有契机作念到有竞争力;
政府以及成本阛阓关于更正企业的包容和更自便度的维持,现在的景色不是寰宇太平,而是到了更具挑战性攻坚克难的要害时刻,千万不成纰漏下来。
Q
半导体行业不雅察:从2014年创立于今,东方晶源走过了十年发展历程,站在新的发展时候节点怎样瞻望下一个十年?
俞宗强:10年攻关教诲了东方晶源的特点和竞争力,也为改日10年的发展奠定了坚实的基础。改日咱们将保握东方晶源敢于更正的传统,牢牢收拢后摩尔期间的机遇,围绕着良率的栽种和制酿成本的镌汰提供更多器用和惩处决策,把东方晶源作念大作念强,在维持高端芯片国产化的同期,走出洋门,为产业的发展作出咱们的孝顺,收场成为集成电路限制良率经管指挥者的愿景。
面前期间,提高芯片的良率变得越来越艰巨,许多新建的晶圆厂通线数年仍难以量产,有的虽凑合量产,但是良率长久无法爬坡式的栽种。
不错说,良率关乎晶圆厂的全体量产与竞争力。
通过俞宗强博士的先容不错看到,经过十年的不竭攻关,东方晶源仍是初步收场了高精度检测/量测装备与EDA软件器用的联动,买通芯片联想与制造过程中的信息差...使芯片制造过程从艺术到科学再到智能,在镌汰芯片制造门槛、收场芯片制造自主可控方面探索出一条全新的生态技艺旅途。
改日,东方晶源将络续围绕HPO™惩处决策进行更多深刻和探索,打造更多点器用,走出一条自主可控的创“芯”之路,与产业链高卑劣配结伴伴联袂,助力加快集成电路国产良率经管行业发展,冲破要害技艺节点,诞生符合中国集成电路产业的全重生态。
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